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专利名称大口径外置式低温泵氙气抽速测试装置及方法
申请日2013-11-26
申请号/专利号CN201310607130.7
专利权人北京航空航天大学
申请人北京航空航天大学
发明人/设计人张建伟;凌桂龙;蔡国飙;王文龙;位立军
公告日2016-05-18
公告号CN103644111B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开一种大口径外置式低温泵氙气抽速测试装置及方法,在这空舱侧壁上安装有三个真空计与两个外置式低温泵;通过氙气瓶向真空舱内通入氙气,通入氙气的压力通过流量计与压力表测量,且通过减压器与电磁阀控制流量;当氙气通入管道压力过高时,可通过安全阀放气;真空舱上还连接有与作为低温泵前级的罗茨泵机组。进行抽速测试时,依次通过罗茨泵机组与一个或二个外置式低温泵对将真空舱内抽至极限压力;随后向真空仓内通入氙气,根据真空舱内压力恒定时,记录三个真空计测量压强均值,通过运算即可得到单泵或双泵的抽气速度。本发明的优点为:可对单泵或双泵进行氙气抽速测试,且便于操作,成本低,测试精度高。
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