一种平面光波导、PLC芯片、光束整形结构及WSS，平面光波导为拟柱体，形状呈片状，包括第一底面和第二底面，第一底面和第二底面均为平面且相互平行，平面光波导的厚度小于或等于10微米；平面光波导包括依次延伸并平滑过渡的第一部分、第二部分和第三部分，第一部分与第二部分连接处的宽度小于第二部分与第三部分连接处的宽度；第二部分包括两个侧面，该侧面为向外隆起的弧面，且该侧面与平行于第一底面的横截面的交线的倾斜度从与第一部分相接处向与第三部分相接处逐渐减小。本申请实施例有助于提高从平面光波导传导出的光束的相位的均匀性，改善PLC芯片的光束整形效果，进而改善光束整形结构的光束整形效果，提高WSS的性能。