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专利名称蓝相液晶面板的制作方法及其立体电极的制作方法
申请日2018-12-26
申请号/专利号CN201811601232.7
专利权人深圳市华星光电技术有限公司
申请人深圳市华星光电技术有限公司
发明人/设计人李迁;陈兴武
公告日2019-04-09
公告号CN109597250A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供一种蓝相液晶面板的制作方法及其立体电极的制作方法,该蓝相液晶显示面板立体电极的制作方法包括:提供一基板;在该基板表面沉积形成一层薄膜;在薄膜表面形成多个相间分布的辅助金属层;将基板浸入刻蚀液中进行刻蚀处理,形成多个相间分布的立体基底;将经过刻蚀处理后的基板进行清洗处理;在立体基底表面沉积一层ITO导电层,得到立体电极。本发明通过使用金属辅助法在基板上制作不同刻蚀模板多晶硅(氧化硅)的立体化图案,以及通过控制刻蚀液的浓度和刻蚀时间,来得到不同宽度/高度比和不同形状的立体电极,具有可调性,满足了不同的电极设计需求,能够降低蓝相液晶显示面板的驱动电压。
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