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专利名称一种可自动检焦的激光扩束系统以及其检焦方法
申请日2018-12-25
申请号/专利号CN201811587850.0
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人/设计人何锋赟;潘媛媛;余毅;李冬宁
公告日2019-04-26
公告号CN109683328A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开一种可自动检焦的激光扩束系统以及检焦方法,所述可自动检焦的激光扩束系统包括检测光源、分光装置、参考光源、激光扩束装置、带孔遮光板和成像装置;检测光源与参考光源发出的平行光通过分光装置后共光路,经激光扩束装置,由于激光扩束装置的出射面为自准直面,所述自准直面上镀有分光膜,分光膜透射参考光、反射检测光,被反射的检测光,经带孔遮光板,成像于成像装置,根据孔的成像情况分析激光扩束系统的准直性,该方案解决了在激光扩束系统使用过程中出射光的准直性判断困难的问题,实现了实时监测激光扩束系统出射光的准直性,同时还可以在激光扩束系统的出射光被要求需要在某一定点处汇聚时,此光路仍可实时标定其目标的准确性。
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