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专利名称通过共振耦合实现电磁场增强的纳米结构及其制造方法
申请日2018-12-25
申请号/专利号CN201811594468.2
专利权人四川大学
申请人四川大学
发明人/设计人李明;蒋之森;李文雪;庞霖
公告日2019-04-16
公告号CN109633797A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

通过共振耦合实现电磁场增强的纳米结构,包括基底,在基底上设置有纳米光栅,在基底和纳米光栅上沉积有金属层,进而形成纳米缝隙,所述纳米光栅的周期为400nm~1000nm,光栅高度100nm~400nm,两条相邻光栅间的狭缝宽度为4nm~40nm。制造该纳米结构时,首先初步确定光栅结构的周期范围,再通过计算机模拟确定最终的光栅结构参数,最后采用微纳加工技术进行制造。本纳米结构通过同时激发多种不同模式的共振并将其耦合到一起,以获得强烈局域的电磁场,从而可以实现超高的电磁场增强效果,且制造的纳米结构均一性好。
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