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专利名称扫描振镜
申请日2018-11-22
申请号/专利号CN201811401424.3
专利权人深圳市速腾聚创科技有限公司
申请人深圳市速腾聚创科技有限公司
发明人/设计人邱纯鑫;刘乐天
公告日2019-03-01
公告号CN109407307A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本申请涉及一种扫描振镜,包括:锚定结构、差动电容驱动器、连杆传动组件和扫描镜组件;差动电容驱动器固定在锚定结构上,包括:X轴驱动器、Y轴驱动器和驱动电路;连杆传动组件包括:X轴连杆机构和Y轴连杆机构;X轴驱动器用于在驱动电路输出的第一驱动电压产生的静电力下驱动X轴连杆机构摆动,进而带动扫描镜组件绕Y轴摆动;Y轴驱动器用于在驱动电路输出的第二驱动电压产生的静电力下驱动Y轴连杆机构摆动,进而带动扫描镜组件绕X轴摆动;其中,扫描镜组件绕Y轴摆动的角度与频率和第一驱动电压对应,绕X轴摆动的角度与频率和第二驱动电压对应。采用本扫描振镜能够分别独立地精准控制扫描镜组件绕X轴、Y轴摆动的扫描频率和扫描角度。
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