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专利名称一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置
申请日2018-11-22
申请号/专利号CN201811396463.9
专利权人中国科学技术大学
申请人中国科学技术大学
发明人/设计人王翔;简伟明;王松子
公告日2020-02-07
公告号CN109270605B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提出一种非球面微小透镜及其阵列的制作方法和装置,利用设置在台架(8)的一个开口向上的桶(1)和活塞(2)以及桶底部设置的具有不同分布的微小圆孔的可换的平面基底片(4),将不同体积的光刻胶(3)液滴挤出垂悬在平面基底片(4)的下平面的具有亲水性能的基底平面(5)上,液滴在基底平面(5)上铺展的同时,利用体积力的向下拉伸作用,来获得稳态的、非球面系数K<0的非球面面形光刻胶的垂悬液滴(6),再通过紫外光的固化来制作口径为数百微米至几毫米、平凸型的微小透镜及其阵列,从而减少像差的影响来提高光学系统的性能。
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