本实用新型公开一种电火花线切割脉间或脉宽PID控制恒电流概率脉冲电源，属于电火花线切割加工技术领域。它包括直流电源、驱动电路、功率放大电路、放电间隙、霍尔电流传感器、电流概率检测模块和控制模块，直流电源与驱动电路相连；驱动电路、功率放大电路、放电间隙、霍尔电流传感器、电流概率检测模块和控制模块依次相连形成一个回路；电流概率检测模块用于检测放电过程中电流大小，并与标准值进行比较；控制模块接收比较信号后计算出电流概率的大小，并以此为依据使用增量式PID的控制方法对脉间/脉宽大小进行控制，从而控制实时电流概率大小。该电源尤其适合切割半导体材料，能提高切割效率，实现半导体材料的稳定自动化切割。