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专利名称薄膜晶体管和显示装置
申请日2018-11-21
申请号/专利号CN201821927494.8
专利权人惠科股份有限公司
申请人惠科股份有限公司
发明人/设计人葛邦同
公告日2019-06-04
公告号CN208938974U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型公开一种薄膜晶体管和显示装置,其中,薄膜晶体管包括栅极;半导体层,半导体层与栅极间隔设置;源极和漏极,源极和漏极设于半导体层背离所述栅极的一侧,源极和漏极于半导体层间隔设置,并可通过半导体层导通;以及绝缘层,绝缘层位于栅极和半导体层之间,绝缘层包括第一绝缘层和第二绝缘层,第一绝缘层临近栅极设置,第二绝缘层贴合于半导体层设置,第一绝缘层的材质为氮化硅,第二绝缘层的材质为氧化硅或者氧化铝。本实用新型技术方案能够使绝缘层与半导体层形成高质量的界面,使得接触界面的缺陷态密度低,降低了载流子在非晶硅层背表面的复合,从而提升薄膜晶体管的性能。
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