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专利名称一种带真空传感器的显微镜
申请日2018-11-21
申请号/专利号CN201821922365.X
专利权人合肥新汇成微电子有限公司
申请人合肥新汇成微电子有限公司
发明人/设计人梁仕富;于士蒙
公告日2019-06-28
公告号CN209044179U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型公开了一种带真空传感器的显微镜,包括支架、安装板、底座、三通管和侧板,所述底座顶部固定安装有侧板,侧板的前端外表面固定安装支架,支架内部开设有滑槽,支架顶部与底部均设有与滑槽相通的开口,支架的滑槽内滑动安装有第一滑块和第二滑块,支架的顶部两侧固定安装有第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆,第一滑块的顶部通过安装件贯穿开口固定安装有第一移动块,第一电动伸缩杆的自由端与第一移动块的一侧连接,本实用新型结构简单,操作方便,在转运过程中能够检测到真空筒内的真空值,从而避免真空值过低而导致晶圆片掉落造成晶圆片损坏,减少了对工作人员的工作困扰。
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