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专利名称一种硅基光电子芯片与单模光纤的耦合装置
申请日2018-11-15
申请号/专利号CN201821883697.1
专利权人杭州芯耘光电科技有限公司
申请人杭州芯耘光电科技有限公司
发明人/设计人王宗旺;夏晓亮
公告日2019-09-03
公告号CN209342970U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型涉及光通信设备技术领域,具体涉及一种硅基光电子芯片与单模光纤的耦合装置,包括硅衬底、二氧化硅层、硅波导以及低折射率波导,单模光纤的端面处理成凸曲面形,单模光纤与二氧化硅层之间存在间隙,单模光纤与硅波导之间设置有至少一段低折射率波导,低折射率波导呈片状长方体形且两端为尖角,硅波导入射端为尖角,单模光纤的纤芯出射端与低折射率波导入射端对齐,低折射率波导与硅波导在水平方向上部分重叠,且在垂直方向上存在间隙,低折射率波导与硅波导两侧的二氧化硅层上均加工有刻槽,刻槽深度大于硅波导埋入二氧化硅层的深度。本实用新型的有益效果是:通过低折射率波导的过渡,提高单模光纤与硅光芯片之间的耦合效率及容差。
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