本发明公开了一种阵列基板、阵列基板的制作方法和显示面板。一种阵列基板包括金属层、绝缘层、氧化层和半导体层，绝缘层形成于所述金属层和半导体之间；氧化层形成于所述绝缘层和半导体层之间。由于器件的比例缩小，目前器件的绝缘层一般由一层绝缘材料组成，单层绝缘材料稳定性差，界面缺陷态多，漏电流大，器件抗高压能力差，容易被金属层高电压击穿(如隧穿效应)而导致器件永久性损坏，若采用至少两个绝缘结构就能很好的避免此类问题，在半导体层和绝缘层之间增加一层氧化层作为过渡层，使界面性质连续变化，从而使半导体和氧化层之间具有较低的缺陷态密度，此外再在氧化层下面加一层高介电常数的绝缘层，避免器件击穿产生，大大提高器件稳定性。