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专利名称显影装置
申请日2018-11-13
申请号/专利号CN201821868284.6
专利权人东旭(昆山)显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司
申请人东旭(昆山)显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司
发明人/设计人史朋超;汪杰
公告日2019-08-16
公告号CN209265178U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型实施例提供一种显影装置,该装置包括:第一贮液池,用于存储显影液;以及第二贮液池,其接收端口通过传输管路与所述第一贮液池的输出端口连接,用于接收输送的显影液并浸泡设置在所述第二贮液池内的待显影基板;其中,所述输送管路内包括第一电磁阀、第一动力单元,所述第一动力单元用于在得电后将所述第一贮液池内的显影液泵送至所述第二贮液池中。该装置通过采用浸泡式的显影方式直接在贮液池中完成待显影基板与显影液的直接接触。避免了通过喷嘴喷洒因喷洒布局导致产品品质异常的问题。
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