本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法和装置。该方法包括：在玻璃基板上形成有横向等间距的m条扫描线的第一金属层。在第一金属层上形成有横向间距相等的n个过孔的第一绝缘层，且m条扫描线投影到第一绝缘层上的任一条阴影上至少形成一个过孔。在第一绝缘层上形成有n个过孔投影处形成靠近集成电路一侧且纵向的n条扫描引线和远离集成电路一侧且纵向的n条虚设引线的第二金属层。在第二金属层上依次形成第二绝缘层和有分别与n条扫描引线投影到第三金属层上的n条的阴影相互重叠的n条数据线的第三金属层。在第三金属层上依次形成第三绝缘层和像素层。本发明中扫描引线和数据线朝着同一方向分别与集成电路连接，节省了边框区域。