本发明涉及半导体激光器合束领域，尤其是一种利于增加功率的先波长合束和偏振合束再空间合束的半导体激光器合束结构。包括一级空间合束模块、反射镜、偏振合束元件、波长合束元件。一级空间合束模块采用台阶或非台阶的结构对一组半导体激光器单管进行空间合束。两个一级空间合束模块输出的光束先用反射镜和波长合束元件进行波长合束(或先用反射镜和偏振合束元件进行偏振合束)组成二级模块，然后两个二级模块再用反射镜和偏振合束元件进行偏振合束(或再用反射镜和波长合束元件进行波长合束)组成三级模块，最后两个或更多三级模块再进行空间合束。本发明的半导体激光器合束结构可对更多的半导体激光器单管进行合束，具有更高的输出功率。