本发明提供一种TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置。所述TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置包括底座；升降机构，所述升降机构固定连接所述底座；锁定机构，所述锁定机构包括第一固定块、第二固定块和转动柱，所述第一固定块与所述第二固定块均固定于所述升降机构，所述转动柱滑动连接所述第一固定块与所述第二固定块；支撑架，所述支撑架固定连接所述底座；移动机构，所述移动机构抵触所述升降机构；放置机构，所述放置机构卡合连接所述移动机构。本发明提供的TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置操作方便、使用灵活、保证放置架位置到位，从而防止TFT报废。