本发明提供了一种平面光波导、其制备方法及热光器件。本发明提供的平面光波导包括衬底‑无机材料下包层‑聚合物芯层‑无机材料上包层，即上下包层均采用无机材料，芯层为聚合物，且分别控制无机材料下包层、聚合物芯层和无机材料上包层的折射率、热光系数和热导率，使之处于特定的大小关系，从而能够充分利用无机材料及聚合物的热光、热导性等特性，将光场有效限制的在芯层，能够提升整体光波导有效折射率的变化速度，进而使光场相位发生变化，通过上述各方面特性的改善，进而有效降低热光响应时间，提升响应速度，改善热光器件的响应灵敏度，对获得快速热光器件具有重要意义。