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专利名称一种米量级反射镜自动化柔性装校平台及装校方法
申请日2018-11-06
申请号/专利号CN201811314250.7
专利权人中国工程物理研究院激光聚变研究中心;江苏西顿科技有限公司
申请人中国工程物理研究院激光聚变研究中心;江苏西顿科技有限公司
发明人/设计人全旭松;曹庭分;何坤;徐旭;何川;张尽力;刘长春;陈海平;罗欢
公告日2019-01-08
公告号CN109164554A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种米量级反射镜自动化柔性装校平台及装校方法,其中,米量级反射镜自动化柔性装校平台包括底座和可转动地安装在底座上部的转台,转台包括装配面板和顶升板,在装配面板上沿顶升板的周向穿设有能够靠近或远离顶升板的定位销,在顶升板的上表面设置有柔性洁净垫,在装配面板的两侧均设置有锁螺丝组件。采用本发明提供的一种米量级反射镜自动化柔性装校平台及装校方法,不仅解决了米量级反射镜的自动化柔性批量装校的问题,避免了人工干预引入的洁净问题,大大提高了装校效率,还使反射镜各处的预紧力均匀,减小了反射的波前误差,提高反射镜的装校质量和稳定性,同时可以推广应用到其他精密光学元件的装校工艺上。
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