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专利名称五通道多色滤光片的光学膜层制备方法
申请日2018-11-05
申请号/专利号CN201811308617.4
专利权人无锡泓瑞航天科技有限公司
申请人无锡泓瑞航天科技有限公司
发明人/设计人王济洲;王云飞;王小军;李凯朋;王田刚;杨登强;鲍鑫;李锦磊
公告日2019-01-08
公告号CN109164528A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及光学薄膜制备技术领域,具体涉及一种五通道多色滤光片的光学膜层制备方法,先对真空室和基底进行清洗,然后将基地放入真空室内抽真空,待基底加热至200℃后采用离子束轰击清洗基底,再用电子枪蒸发法分别在基底的一侧逐层交替沉积氧化钛膜层和二氧化硅膜层形成膜系1,在另一侧逐层交替沉积氧化钛膜层和二氧化硅膜层形成膜系2、膜系3、膜系4、膜系5和膜系6,待冷却至室温后取出,并采用分光光度计进行测试,采用UVWINLAB软件对其光谱线进行计算,按照航天部标准“QJ1697‑89”中关于膜层表面质量、附着力和环境性的试验要求进行试验,大大提高了产品的成品率,减低了产品的成本,适用于空间遥感系统中全光谱相机等。
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