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| 专利名称 | 3.50～3.90μm中波红外微型滤光片及其制备方法 |
| 申请日 | 2018-11-05 |
| 申请号/专利号 | CN201811308604.7 |
| 专利权人 | 无锡泓瑞航天科技有限公司 |
| 申请人 | 无锡泓瑞航天科技有限公司 |
| 发明人/设计人 | 王济洲;王小军;李凯朋;王云飞;许斌;杨登强;汪洋;杨子文;王际充 |
| 公告日 | 2019-01-04 |
| 公告号 | CN109143440A |
| 法律状态 | 审中 |
| 专利类型 | 发明 |
| 行业分类 |
摘要
本发明属于表面技术领域，具体涉及一种3.50～3.90μm中波红外微型滤光片及其制备方法。该滤光片包括硅基底和长、短波通膜系；长波通膜系结构为(0.35H0.7L0.35H)^9(0.5HL0.5H)^13，中心波长为2800nm；短波通膜系结构为(0.5LH0.5L)^13，中心波长为4650nm；H和L分别为锗膜层和硫化锌膜层；通过真空中加热硅基底，采用离子束辅助的电子枪蒸发法在基底两侧沉积长、短波通膜系，冷却后制得。所述滤光片在3.50～3.90μm谱段具有高透过率，在0.80～3.30μm和4.10～5.50μm谱段宽截止，并且可以再低温(80K)下使用，并满足在空间微型组合滤光片中的拼接要求。
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