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专利名称一种自动对焦的方法及系统
申请日2018-11-05
申请号/专利号CN201811307074.4
专利权人佛山科学技术学院
申请人佛山科学技术学院
发明人/设计人韩定安;曾亚光;谭海曙;王茗祎;王雪花;熊红莲;吴南寿;赵汝豪;郑伊玫
公告日2019-02-19
公告号CN109358462A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种自动对焦的系统,包括低相干光源、光纤耦合器、参考臂光路系统、样品臂光路系统、电脑处理终端和光电探测器,所述参考臂光路系统包括第一准直镜和反射镜,所述第一准直镜和反射镜通过光线连接,所述样品臂光路系统包括相机、第二准直镜、半反半透镜和平场聚焦镜,所述第二准直镜通过半反半透镜的反射面与平场聚焦镜光线连接,所述相机用于接收所述半反半透镜的透射光;本发明基于迈克尔逊干涉仪原理设计了一种快速、精准的自动对焦的方法及系统,其对焦空间分辨率可达到微米级,使用直线运动的参考臂光路系统,能实现快速且连续的线阵光程扫描,同时受外界环境影响极小,可在各种明暗光线环境下正常使用,实用性较强。
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