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专利名称一种配向膜脱膜剂组合物及脱膜工艺
申请日2018-11-02
申请号/专利号CN201811298244.7
专利权人江阴江化微电子材料股份有限公司
申请人江阴江化微电子材料股份有限公司
发明人/设计人徐杨;邵勇;朱龙;陈林;承明忠;周勰;殷福华;赵文虎
公告日2019-03-08
公告号CN109439468A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种配向膜脱膜剂组合物,主要组成为碱性组分、非质子极性溶剂、有机醇溶剂和水,碱性组分中包含吗啉和/或具有吗啉环仲胺基团的吗啉衍生物。本发明配向膜脱膜剂组合物中引入了具有仲胺基团的吗啉和/或吗啉衍生物,吗啉分子结构中具有仲胺基团,因此其水溶液具有强碱性,可部分替代或者全部替代碱金属氢氧化物,降低脱膜剂组合物中的碱金属氢氧化物含量,不伤底层ITO及金属层;配向膜脱膜剂组合物中的水含量高,有助于提高配向膜脱膜过程中的的安全系数。本发明还公开了一种配向膜脱膜剂组合物的脱膜工艺。
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