本发明提供一种TFT阵列基板的检测方法及装置，检测方法包括：在待检测的TFT阵列基板上方设置包含多个金属片的量测头，使得量测头与TFT阵列基板之间形成电容效应，多个金属片阵列排布且位于同一平面上；输出栅极扫描信号至TFT阵列基板上的扫描线，打开与扫描线连接的薄膜晶体管，数据信号输出数据信号至TFT阵列基板上的数据线，并通过薄膜晶体管将数据信号输出至像素电极；检测量测头的金属片上是否有交流信号，若在量测头的金属片上没有检测到交流信号，则确定未检测到交流信号的金属片下方的TFT阵列基板上存在电性缺陷。本发明提供的检测方法及装置维护成本低且不会轻易造成检测装置的损伤。