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专利名称柔性光波导
申请日2018-10-25
申请号/专利号CN201821741672.8
专利权人浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请人浙江清华柔性电子技术研究院
发明人/设计人冯雪;叶柳顺;陈颖
公告日2019-07-12
公告号CN209102950U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型涉及一种柔性光波导。所述柔性光波导包括柔性衬底以及依次层叠设置于所述柔性衬底上的第一光限制层和第二光限制层,所述第一光限制层和所述第二光限制层之间设有至少一个光传输单元;其中,所述第一光限制层的厚度为10μm~20μm,所述第二光限制层的厚度为0.2μm~1μm,所述光传输单元的厚度为0.1μm~3μm。本实施新型的柔性光波导超薄、柔韧性好,可应用于柔性硅基光子学器件中,从而提高器件集成度以及促进器件微型化,进而提高其与人体的贴合度,提高使用可穿戴柔性医疗电子器件的舒适感。
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