基于电涡流测量的自适应变形镜子孔径控制设备，被控制的超薄镜面与基板分离，永磁体胶结在超薄镜面的背面，该永磁体使用音圈电机驱动，特征是驱动该音圈电机的传感器采用电涡流微位移传感器。其结构是：在永磁体背面胶结一片目标导体；铜线圈固定在所述基板上的圆孔中，该铜线圈的顶面与基板上表面平齐，线圈中孔内安装电涡流传感器的探测线圈，传感器探测线圈和电机驱动线圈都固定安装在基板孔内部的金属支撑结构上。本发明结合电磁力驱动镜面的高带宽快速响应优势和电涡流位移测量的高空间分辨率和高测量带宽的优势，同时测量不受环境影响，能克服目前大口径自适应变形镜面临的最大问题，同时能达到很好的控制效果。