本发明公开了一种多通道多模式复用波导交叉及其制备方法，涉及光子集成技术的波导交叉。本波导交叉是一种异形硅圆柱体（00），包括有2N个中心对称的端口（10）；N是自然数，2≤N≤100；在每个端口（10）的外壁设置有平面边界（11），在相邻的端口（10）之间设置有曲线边界（12），在每个端口10的内侧到中心设置有曲面边界（13）。本发明可以实现3路及以上的通道的波导交叉，并且能够同时实现高阶模式复用，能够实现片上密集集成；工作带宽极宽，损耗小，串扰小。