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| 专利名称 | 一种用于化学机械抛光的承载头及晶圆承载装置 |
| 申请日 | 2019-12-30 |
| 申请号/专利号 | CN201911398830.3 |
| 专利权人 | 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司 |
| 申请人 | 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司 |
| 发明人/设计人 | 赵德文;刘远航;孟松林 |
| 公告日 | 2020-02-25 |
| 公告号 | CN110834269A |
| 法律状态 | 审中 |
| 专利类型 | 发明 |
| 行业分类 | 机械制造 |
摘要
一种用于化学机械抛光的承载头，其特征在于，包括配置于所述承载头顶部的用于将承载头装配至驱动单元的法兰盘，所述法兰盘具有定位销，所述定位销的主体由金属材料制成并且其部分或全部表面设置有避免产生磨损的非金属结构。
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