本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括具有中空腔的第一衬底以及位于第一衬底上且悬置在中空腔上方的振膜、至少一个悬臂，所述悬臂与振膜之间通过间隔部隔开，且所述振膜与间隔部围成了开放式的容腔；在所述振膜与悬臂上设置有检测结构，所述检测结构用于输出表征振膜变形的电信号。本实用新型的MEMS麦克风，振膜与间隔部围成了开放式的容腔，使得振膜在振动时，气流可以顺利地流通，不会存在由于空气粘度造成的间隙或穿孔中的空气流动阻力，进而可以大幅度提高麦克风的信噪比。