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专利名称一种新型DRAM集成电路的结构
申请日2019-12-18
申请号/专利号CN201911306287.X
专利权人电子科技大学
申请人电子科技大学
发明人/设计人廖永波;李平;林凡;李垚森;曾祥和;胡兆晞;唐瑞枫;邹佳瑞;聂瑞宏;彭辰曦;冯轲
公告日2020-02-21
公告号CN110828459A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

一种新型DRAM集成电路的结构,涉及集成电路技术和半导体技术。本发明是基于一种新型的纵向柱状TMOS器件结构,最下层为N+掺杂衬底和N‑外延层作为漏极,中间是P外延层作为栅极沟道,最上方是N+锗硅外延层作为源极。柱状结构的外圈被氧化层包围,其中三面覆盖多晶硅层作为栅极,剩下一面覆盖金属层与MOS管的漏极形成电容。多晶硅上有一个引线孔,接字线。锗硅层上是另一个引线孔,接位线。本发明所要解决的关键技术问题是:提供一种DRAM结构,提供一种新型DRAM集成电路的结构,实现器件的小面积、高电流密度、低导通电阻,从而提高集成电路的集成度、存取速度,以及实现器件和集成电路安全工作电压的提高,而器件和集成电路的功耗仍比传统的器件和集成电路的功耗低。
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