本发明涉及一种RFMEMS数字可变电容阵列构造，包括有衬底，衬底上分布有若干组基于翘板式结构的RFMEMS数字可变电容单元，各个RFMEMS数字可变电容单元分组后，围绕RFPad分布，每组RFMEMS数字可变电容单元的RF电极与RFPad接连，每组RFMEMS数字可变电容单元的最大容值均不相同，每组RFMEMS数字可变电容单元有两种电容状态，通过5位二进制数字驱动信号进行控制，RFPad两侧均分布有GNDPad。由此，可变电容单元数量少，且可变电容容值的步阶多，调节范围广，可调性强。在5组单元，每组二个电容状态的条件下，有32个步阶。在5组单元，每组三个电容状态的条件下，有243个步阶。由数字信号控制，可与IC兼容。