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专利名称一种蒸镀机构
申请日2019-11-29
申请号/专利号CN201911201896.9
专利权人福建华佳彩有限公司
申请人福建华佳彩有限公司
发明人/设计人乔小平
公告日2020-02-21
公告号CN110819940A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类电力装备

摘要

本发明提供一种蒸镀机构,包括坩埚和防尘装置,坩埚置于所述防尘装置上方,坩埚内部用于填充蒸镀材料,坩埚外壁包覆设置有加热装置,坩埚中部设置有多孔分散板,坩埚上部侧壁设置有供蒸镀材料蒸汽喷出的喷嘴,喷嘴与坩埚内部连通,所述喷嘴倾斜向下指向在防尘装置下方一侧的基板放置平台,基板放置平台的底面为平面,基板放置平台用于由上往下依次放置掩膜板和待蒸镀的基板。本方案采用基板在下,蒸镀机构在上的蒸镀方式,通过基板放置平台对基板整体支撑避免基板产生弯曲,从而避免弯曲对基板厚度和尺寸的限制;同时通过防尘装置可以有效防止颗粒掉落,从而防止掩膜板出现塞孔。
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