本发明提供基于后验误差估计的集成电路自适应有限元网格细分方法包括步骤1求解得到网格单元的有限元数值解，在每个网格节点的超收敛单元片内，基于解的梯度Gfem近似恢复更高阶精度的梯度Gspr作为解的梯度的准确值；步骤2计算每个网格单元单元的相对误差和总体误差，判断总体误差指标是否达标，若达标则结束；步骤3迭代算出每个网格单元一次性细分次数；步骤4对网格单元的细分次数进行平滑，使得相邻网格单元的细分次数差别不高于1；步骤5基于网格单元的细分次数直接对每个网格单元细分；步骤6对细分的网格单元进行平滑；步骤7转入步骤1。本发明一次网格单元细分并求解即可获得满足精度要求的解，减少超大规模集成电路电磁场问题的求解时间。