本申请实施例公开了集成电路版图场域识别与网格细分处理方法及装置。该方法包括将各层集成电路版图多个多边形垂直投影到同一层，形成Delaunay三角形网格；合并投影后重合的各多边形边的多边形信息和层信息；将该网格对齐到各多边形边，计算各多边形边交点并将交点增为多边形顶点和网格节点形成第一三角形网格，其中，边交换法将多边形边形成集合，取出多边形的边，对其进行交换后，若集合为空集，则结束交换；将各多边形边的层信息叠加到各多边形内所有三角形中；根据三角形和多边形边的层信息识别并收集各平行平板场域包含的三角形和多边形边；对各平行平板场域内三角形进行网格细分处理。本申请可保证该场域识别与网格细分处理方法的准确与高效。