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专利名称 | 一种工业集成电路用除尘装置 |
申请日 | 2019-12-02 |
申请号/专利号 | CN201911214847.9 |
专利权人 | 苏州幕特克自动化设备有限公司 |
申请人 | 苏州幕特克自动化设备有限公司 |
发明人/设计人 | 陶进;唐弇冬 |
公告日 | 2020-03-13 |
公告号 | CN110877024A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 | 集成电路 |
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