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专利名称翻转装置和真空镀膜设备
申请日2019-11-27
申请号/专利号CN201911181284.8
专利权人北京七星华创集成电路装备有限公司
申请人北京七星华创集成电路装备有限公司
发明人/设计人金晨;杨卓;李建银
公告日2020-02-07
公告号CN110760811A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明提供一种翻转装置和真空镀膜设备,该翻转装置包括可翻转的翻转架、相对设置在该翻转架上的两个第一夹紧机构、分别与两个第一夹紧机构连接的两个载台组件以及分别设置在两个载台组件上的两个第二夹紧机构,其中,各载台组件用于承载托盘;两个第一夹紧机构用于分别向两个载台组件的四周边缘处施加压力,以将置于两个载台组件之间的两个托盘夹紧;两个第二夹紧机构用于分别向置于两个载台组件上的两个托盘的指定位置施加压力,该指定位置为与托盘上的基片相对应的位置。本发明提供的翻转装置,其可以避免基片在翻转过程中表面受损或掉落,提高翻转夹紧的可靠性和稳定性,从而可以提高生产效率和产品质量。
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