本发明提供了一种光罩盒定位装置以及光刻设备，所述光罩盒定位装置用于在将光罩盒放置在光刻机台上和/或从光刻机台上拿取光罩盒时确保光罩盒保持水平，所述光罩盒定位装置包括：导轨结构，设置于所述光刻机台上，所述导轨结构具有至少一个用于限定所述光罩盒的运动轨迹的挡板；以及，水平测量结构，用于在将所述光罩盒放置在所述光刻机台上和/或从所述光刻机台上拿取所述光罩盒时，测量所述光罩盒是否保持水平。本发明的技术方案能够在将光罩盒放置在光刻机台上和/或从光刻机台上拿取光罩盒时确保光罩盒保持水平，进而使得光刻工艺能够顺利进行。