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专利名称一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法
申请日2019-11-26
申请号/专利号CN201911173284.3
专利权人上海华力集成电路制造有限公司
申请人上海华力集成电路制造有限公司
发明人/设计人祝君
公告日2020-02-28
公告号CN110848451A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明提供一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法,左右对称且相互拼接的两个阀门;分别位于两个阀门顶部的流量调节旋钮;分别位于两个阀门侧壁用于在阀门关闭后调节回吸的第一旋钮;分别位于两个阀门侧壁的导电PFA管;流量调节旋钮与第一旋钮上分别设有金属阀杆;流量调节旋钮上的金属阀杆、第一旋钮上的金属阀杆分别与track机台外壳之间连接有接地导线。将阀门单次打开的时间缩短,将阀门两次打开的间隔时间增加;在流量调节阀金属阀杆与机台外壳之间形成保护接地;将机台管路替换成导电PFA管,并在大量排液前,在阀门两端进行保护接地。有效改善了阀门损坏的现象,从而有效地减少了公司因阀门内漏产生的经济损失。
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