本申请实施例公开了多层集成电路版图多边形对齐和简化处理方法及装置。该方法包括将多层集成电路版图多个多边形投影到同一层，根据Delaunay三角剖分算法形成Delaunay三角形网格；将Delaunay三角形网格对齐到各多边形各边，同时计算各多边形边交点并将交点增为多边形顶点和Delaunay三角形网格节点，形成第一三角形网格；基于此，在各多边形内外形成夹住多边形的内外辅助多边形，并通过距离阈值控制内外辅助多边形与多边形的距离；对落在内外辅助多边形间的各层多边形边进行对齐和简化处理。本申请可减少多层多边形形成平行平板场域后的碎片化问题，减少不必要的密集网格，缩小多层集成电路分析求解时间和所需内存，且可保留多边形间缝隙，基本不改变集成电路版图形状。