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专利名称 | 一种氮化铝粉体的纯化方法、该方法制得的氮化铝粉体及其应用 |
申请日 | 2019-11-20 |
申请号/专利号 | CN201911141996.7 |
专利权人 | 航天特种材料及工艺技术研究所 |
申请人 | 航天特种材料及工艺技术研究所 |
发明人/设计人 | 韩耀;王华栋;吕毅;赵英民;张昊;张天翔 |
公告日 | 2020-01-17 |
公告号 | CN110697665A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 | 集成电路 |
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