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专利名称N型半导体器件及其制造方法
申请日2019-11-19
申请号/专利号CN201911133313.3
专利权人上海华力集成电路制造有限公司
申请人上海华力集成电路制造有限公司
发明人/设计人翁文寅
公告日2020-02-28
公告号CN110854200A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种N型半导体器件,包括:栅极结构和形成在栅极结构两侧的半导体衬底中形成有嵌入式磷硅外延层;源区和漏区形成在嵌入式磷硅外延层中;在源漏区的顶部形成有第一接触孔;在第一接触孔的第一开口的底部区域形成有底部接触结构、顶部区域填充有第四金属层;底部接触结构由磷重掺杂的磷硅外延层或碳磷硅外延层组成,第四金属层叠加在底部接触结构之上;底部接触结构为N+掺杂浓度大于嵌入式磷硅外延层的表面的N+掺杂浓度。本发明公开了一种N型半导体器件的制造方法。本发明能降低器件的源漏接触电阻和沟道电阻,提高器件性能。
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