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专利名称一种全对称LDMOS触发SCR结构的双向高压ESD防护器件
申请日2019-11-19
申请号/专利号CN201911132160.0
专利权人江南大学
申请人江南大学
发明人/设计人顾晓峰;朱玲;梁海莲
公告日2020-03-13
公告号CN110880500A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种全对称LDMOS触发SCR结构的双向高压ESD防护器件,属于集成电路的静电放电防护及抗浪涌领域。所述防护器件主要由一P衬底、深N阱、第一P阱、N阱、第二P阱、第一P+注入区、第一N+注入区、第一多晶硅栅、第一薄栅氧化层、第一场氧隔离区、第二P+注入区、第二场氧隔离区、第二多晶硅栅、第二薄栅氧化层、第二N+注入区和第三P+注入区构成。本发明通过嵌入两个NLDMOS,构成开态NLDMOS和关态NLDMOS串联的辅助触发SCR电流路径,提高器件的耐压能力,使器件满足高压电源域的ESD防护需求增强器件的ESD鲁棒性,提高器件单位面积泄放效率,降低寄生SCR结构中的基区载流子浓度,提高器件的维持电压。
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