便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称P型半导体器件及其制造方法
申请日2019-11-19
申请号/专利号CN201911132869.0
专利权人上海华力集成电路制造有限公司
申请人上海华力集成电路制造有限公司
发明人/设计人翁文寅
公告日2020-02-25
公告号CN110838521A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种P型半导体器件,包括:栅极结构和形成在栅极结构两侧的半导体衬底中形成有嵌入式锗硅外延层;源区和漏区形成在嵌入式锗硅外延层中;在源漏区的顶部形成有第一接触孔;在第一接触孔的第一开口的底部区域形成有底部接触结构、顶部区域填充有第四金属层;底部接触结构由第二锗硅层和第三锗层叠加而成,第四金属层叠加在底部接触结构之上;底部接触结构为P+掺杂浓度大于嵌入式锗硅外延层的表面的P+掺杂浓度。本发明公开了一种P型半导体器件的制造方法。本发明能降低器件的源漏接触电阻和沟道电阻,提高器件性能。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层