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专利名称鳍体的制造方法
申请日2019-11-19
申请号/专利号CN201911133315.2
专利权人上海华力集成电路制造有限公司
申请人上海华力集成电路制造有限公司
发明人/设计人宋洋;王昌锋
公告日2020-02-25
公告号CN110838449A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种鳍体的制造方法,包括步骤:步骤一、提供半导体衬底,定义出鳍体的形成区域;第二、对半导体衬底进行干法刻蚀形成多个鳍体,各鳍体之间为浅沟槽;步骤三、进行疏水处理使所述浅沟槽内侧表面具有合适的亲水疏水状态;步骤四、对浅沟槽的表面进行清洗,以去除鳍体的干法刻蚀中所产生的聚合物;清洗完成后进行烘烤。本发明能减少对鳍体产生的表面张力,从而能防止鳍体产生粘连或倒塌。
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