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专利名称毫米波频段放大器芯片封装结构及制作方法
申请日2019-11-12
申请号/专利号CN201911101347.4
专利权人河北新华北集成电路有限公司
申请人河北新华北集成电路有限公司
发明人/设计人张晓朋;吴兰;高博;曲韩宾;邢浦旭;崔培水;谷江
公告日2020-01-31
公告号CN110739288A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明提供了一种毫米波频段放大器芯片封装结构及制作方法,涉及芯片封装技术领域,包括芯片、封装基板和封盖;封装基板上设有自上而下顺次层叠设置的第一金属层、第一介质层、第二金属层、第二介质层以及第三金属层,封盖设置于封装基板上且用于封盖封装基板,封盖设有开口向下的内腔。本发明提供的毫米波频段放大器芯片封装结构形式,采用封装基板和封盖结合的形式,并在封装基板上设置容纳槽的形式实现对芯片的容纳,有效的缩短了芯片与封装基板之间的连接长度,便于降低寄生电感,提高了芯片的传输能力。带有内腔的封盖使芯片的芯片直流端口与封装基板的连接直接接触空气,降低了高频波段的损耗,提高了芯片的自身射频性能。
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