本发明提供了一种金属引线、半导体器件及其制作方法，首先同时形成第一凹槽与布线层凹槽，接着形成第二凹槽，所述第二凹槽与所述第一凹槽连通，之后填充导电材料在第一凹槽、第二凹槽的过程中同时填充布线层凹槽，在形成导电结构的同时形成布线层，不需要再额外开孔将导电结构引出，也不需要在沉积铝层之后再刻蚀形成布线层，节省了两张掩膜板，节约了生产成本。