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专利名称一种适用于负压扩散炉的压力控制系统
申请日2019-11-06
申请号/专利号CN201911076370.2
专利权人陈叶源
申请人陈叶源
发明人/设计人陈叶源
公告日2020-03-06
公告号CN110867399A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及集成电路技术领域,且公开了一种适用于负压扩散炉的压力控制系统,包括排气管和真空泵,所述排气管和真空泵之间通过控制管连通,所述控制管的内侧壁活动连接有活动管,所述活动管和控制管之间设置有相互重合的配合孔,所述活动管的一侧设有稳压腔。该适用于负压扩散炉的压力控制系统,伴随着扩散炉内的压力变化,活动管和控制管的相对位置发生变化,进而控制排气流量自适应的调整扩散炉内压力,相比PID算法控制,响应速度更快,扩散炉内的压力更加平稳,一方面,随着压力变化自适应的调整,对压力传感器的需求度较低,另一方面,传感器设置在隔绝腐蚀性气体的腔室内,降低传感器精度对生产质量的影响。
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