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专利名称一种集成功率器件及其制作方法
申请日2019-11-06
申请号/专利号CN201911073746.4
专利权人南京华瑞微集成电路有限公司
申请人南京华瑞微集成电路有限公司
发明人/设计人胡兴正;陈虞平;刘海波
公告日2019-12-13
公告号CN110571217A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本申请涉及一种集成功率器件及其制作方法,属于半导体技术领域。该器件包括:第一类型衬底,间隔设置于第一类型衬底上的主功率器件和至少一个从功率器件,在每个从功率器件的外围区域的衬底上设置的第二类型掺杂环。该第二类型掺杂环使得外围区域形成交错排布的P型环和N型环,第一类型为N型、第二类型为P型,或,第一类型为P型、第二类型为N型。在每个从功率器件的外围区域的衬底上设置第二类型掺杂环,使得外围区域形成交错排布的P型环和N型环,从而在从功率器件的外围形成一个或多个PN结结构,实现从功率器件与从功率器件/主功率器件之间的隔离。
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