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专利名称一种自适应离子强度的磁控溅射台
申请日2019-11-06
申请号/专利号CN201911076988.9
专利权人张拥银
申请人张拥银
发明人/设计人张拥银
公告日2020-02-07
公告号CN110760806A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及集成电路技术领域,且公开了一种自适应离子强度的磁控溅射台,包括机体、溅射腔室、屏蔽罩、旋转电极、基板、溅射靶材、底板,所述底板的两侧均固定连接有滑动块,所述滑动块的数量为两个,两个所述滑动块之间固定连接有支撑杆,所述支撑杆的底部固定连接有定位杆,所述定位杆的末端固定连接有磁块,所述磁块的底部固定连接有支撑杆。通过滑动块与支撑杆之间的配合使用,使得底板由固定安装优化为滑动安装,使得基片可以移动不同的间距,同时通过磁力相吸的原理,使得基片在溅射过程中,可以根据溅射的功率自动移动较佳的位置,当功率较大时,磁力释放大吸引力大,使得基片自动向下放移动拉开与溅射靶材之间的间距。
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