本发明公开了一种MEMS结构及其加工方法、热释电传感器、红外探测器，属于MEMS技术及红外探测技术领域。该MEMS结构包括设有读出集成电路的基底，以及包括：悬浮在基底一侧的热敏感层，所述的热敏感层为镧钛酸铅铁电薄膜；用于支撑所述热敏感层的支撑结构，所述支撑结构通过若干组锚柱与所述基底相连，所述支撑结构与所述基底之间形成光学谐振腔；所述的支撑结构依次包括第一碳化硅层、电极层以及第二碳化硅层；所述的电极层为钛膜和/氮化钛膜。本发明通过采用镧钛酸铅铁电薄膜作为热敏感层，以及使热敏感层通过支撑结构悬浮在基底一侧，可以提高MEMS结构的光学吸收特性以及降低MEMS结构的噪声等效温差。