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专利名称一种DRAM存储芯片三维集成封装方法及结构
申请日2019-10-29
申请号/专利号CN201911037537.4
专利权人中国电子科技集团公司第五十八研究所
申请人中国电子科技集团公司第五十八研究所
发明人/设计人王成迁
公告日2020-01-14
公告号CN110690178A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开一种DRAM存储芯片三维集成封装方法及结构,属于集成电路封装技术领域。提供母片和子片,将所述母片和所述子片堆叠键合。通过如下方法形成母片:提供玻璃基板,在所述玻璃基板上旋涂键合层;在所述键合层上摆放TSV转接芯片和存储芯片;通过塑封料塑封,并减薄至目标厚度;在所述存储芯片上制作粘结层。通过如下方法形成子片:另外提供TSV转接芯片和存储芯片,并将其塑封;形成连接子片中转接芯片和存储芯片的n层重布线;制作凸点。最后用底填料填充凸点缝隙,通过塑封料塑封并减薄至目标厚度;在所述子片背面制作粘结层,再键合一个子片;重复上述步骤,完成多层三维堆叠;最后一层由存储芯片塑封而成,并形成有n层布线和凸点。
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